[发明专利]一种真空镀膜加工装置在审
| 申请号： | 202011621166.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112695278A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吕锡昌;谢建辉;廖建伟 | 申请（专利权）人： | 福建省将乐县长兴电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京阳光天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11671 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 353300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜加工装置，包括底座，所述底座的上面设有壳体和冷却系统，所述底座内设有真空泵，所述壳体的顶部设有升降机构，所述升降机构能够带着石英晶体上下移动，所述壳体的内部设有镀膜装置和防护装置，所述镀膜装置包括激光发射装置和覆膜装置，所述激光发射装置外接激光发射器，所述防护装置设置在所述底座的内腔底部，所述激光发射装置安装在所述底座的右侧壁上，所述覆膜装置位于所述防护装置内，所述升降机构包括可上下移动的连接板，所述连接板上安装有旋转板，所述旋转板的下面设有加热板，所述加热板的下面连接有基板，所述基板用于放置石英晶体，本发明具有加工效率高、覆膜效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 加工 装置 | ||
【主权项】：
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