[发明专利]一种光刻机主动辊式压板机构

摘要

本发明公开了一种光刻机主动辊式压板机构，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板以及设置于所述支撑翼板下方的胶辊组件；所述胶辊组件包括转轴以及套接于所述转轴上的胶辊，所述转轴两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板下端连接，本申请采用辊式压板机构，使用气缸作为动力，通过气缸的伸出，在曝光区域两侧压住PCB板，避免了边缘压板机构导致中间鼓起、曝光区域不平整的现象，同时长辊结构可靠，无悬臂梁式压板机构使用过程中悬臂梁形变风险，整个结构简单，容易实现，而且胶辊可绕自身的转轴旋转，无滑动摩擦，长辊外侧包有不粘油墨的硅胶或橡胶，无损坏PCB板风险。