[发明专利]一种带桨进炉装置及其生产工艺在审
| 申请号： | 202011625067.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112820680A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;郭永胜;张武;庞爱锁 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带桨进炉装置及其生产工艺,包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管，本发明整个工艺过程中桨进出炉只需一次，节省工艺时间，本发明将桨和产品作为整体，桨把产品带进炉后，无需将产品放下，故无需设置桨上下移动的空间，节省热炉的上下空间，本发明将桨和产品作为整体，桨把产品带进炉后，无需将产品放下，故无需增加上下运动机构，将整个装置大大简化，节省大量电气控制与机构运动装置，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带桨进炉 装置 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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