[发明专利]一种PERC单晶双面太阳能电池背面制备的方法

摘要

本发明公开了一种PERC单晶双面太阳能电池背面制备的方法，包括以下步骤：S1，在硅基底的背面沉积钝化层；S2，使用低能量激光器对钝化层照射激光，使激光照射下的钝化层形成开槽，开槽内的硅基底裸露；S3，在开槽和钝化层表面沉积保护层，保护层为氮化硅薄膜；S4，使用电子浆料烧穿开槽内的保护层，制备背电极，背电极与开槽内的硅基底接触。该PERC单晶双面太阳能电池背面制备的方法在沉积钝化层后立即通过低能量激光进行开槽，减少对硅基底损伤的同时降低能耗，而后沉积保护层，既实现了对钝化层的保护，还对硅基底表面和体内具有修复作用，降低复合中心，提高电池的转化效率。