[发明专利]标准单元制备方法、标准单元、集成电路及系统芯片有效

专利信息
申请号: 202011636419.8 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112836462B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 杨展悌;苏炳熏;叶甜春;罗军;赵杰;王云 申请(专利权)人: 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;锐立平芯微电子(广州)有限责任公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392;G06F30/398
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 杨明莉
地址: 510000 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及一种标准单元制备方法、标准单元、集成电路及系统芯片,所述方法包括提供第一标准单元,所述第一标准单元包括至少一个标准阈值电压器件,且所述标准阈值电压器件为采用全耗尽绝缘体上硅工艺制成;形成背压通孔,所述背压通孔沿第一标准单元的厚度方向向下延伸并贯穿氧化埋层;于所述背压通孔内形成导电插塞;向所述导电插塞的另一端施加正向偏压,使得所述第一标准单元的开关速度达到第二标准单元的开关速度,其中,所述第一标准单元的高度小于所述第二标准单元的高度。本申请实现了用户在利用新的标准单元库设计时,在同等体硅工艺单元库面积下,带来更大的驱动电流,有效满足了全耗尽绝缘体上硅工艺设计的需求。
搜索关键词: 标准 单元 制备 方法 集成电路 系统 芯片
【主权项】:
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