[发明专利]异物测试装置和异物测试方法有效
| 申请号： | 202011638619.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112858390B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王晓伟 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种异物测试装置，包括：异物测试基板和异物测试模组，异物测试模组，用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。当待检测样品表面存在异物时，会造成异物测试模组的电性变化。本发明的异物测试装置通过监测异物测试模组的电性变化情况，可以有效判断待检测样品表面的异物情况，尤其是在显示面板的制备过程中，可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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