[发明专利]载片台平整度的调节方法及装置有效
| 申请号： | 202011640752.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114688998B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;王天民;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G06T5/00;G06T7/00;G06T7/62;G06T7/73 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 吴凡;高静 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种载片台平整度的调节方法及装置，载片台包括多个支撑柱，支撑柱用于承载待承载物，方法包括：获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱；获得异常支撑柱对待承载物的作用区域；获得异常区域与作用区域的交叠面积；根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中，获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱后，根据异常支撑柱对待承载物的作用范围，获得异常区域与作用区域的交叠面积，根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱，使得异常支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 载片台 平整 调节 方法 装置 | ||
【主权项】：
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