[发明专利]一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备

摘要

本发明公开了一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室、固定装置和除尘装置，所述蒸镀腔室的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定连接有滑动块，所述滑动块的顶部外壁固定连接有蒸镀源，所述蒸镀腔室的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架。通过按压板向下运动，磁性相吸的第一磁性套和第二磁性套，使第一磁性块与第二磁性块靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板与基板紧贴，通过蒸镀源对掩模版和基板进行蒸镀处理，本装置通过按压板、第一磁性块、第二磁性块的装置的联合设置，使按压板与基板进行更好的贴合，方便进行镀膜处理，避免基板与掩模板在加工时的变形。