[实用新型]一种分流式CVD沉积室

摘要

本发明提供一种分流式CVD沉积室，涉及复合材料制备的技术领域，包括沉积筒和进气室，沉积筒内设有隔板，隔板将沉积筒分为上腔室和下腔室；上腔室包括第二固定筒，第二固定筒的底部与隔板之间连接；下腔室包括引流筒和第一固定筒，第一固定筒的另一端与隔板之间留有气体流通的第一通道，引流筒的另一端与下腔室底部之间留有气体流通的第二通道；进气室内设有进气管，沉积筒内设有与进气管连接的输气组件，输气组件包括上排气室、主气室、从气管和引流管，上排气室置于上腔室内，主气室和从气管设于下腔室内，引流管的底部和从气管设于主气室的上部，且均与主气室连通，引流管的顶部还与上排气室连通，上排气室和从气管上均设有排气孔。