[实用新型]一种真空直线导入装置有效
| 申请号： | 202020007295.6 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN211046667U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 孙艳朝 | 申请（专利权）人： | 辽宁希泰科技有限公司 |
| 主分类号： | H02K7/06 | 分类号： | H02K7/06;H02K37/24 |
| 代理公司： | 沈阳易通专利事务所 21116 | 代理人： | 王建男 |
| 地址： | 115000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型专利涉及真空环境中的导入装置，一种真空直线导入装置，其中电机长螺杆第一端固定在隔离盘第一端中心位置，波纹管套装在电机长螺杆外侧，且波纹管第一端密封连接在螺杆固定隔离盘第一端端面，真空法兰盘套装在电机长螺杆外侧，且真空法兰盘第一端端面为电机安装座，贯通式电机的动力端与电机长螺杆配并安装在真空法兰盘第一端端面，真空法兰盘第二端端面迷密封连接在波纹管第二端；贯通式电机可通过与电机长螺杆配合，使贯通式电机在电机长螺杆上轴向移动，并通过真空法兰盘驱动波纹管伸缩。本装置可以在真空环境中实现位置精准的、速度可控的和可重复的直线位移和运动，具有效率高、制作和调试简化并且稳定性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 直线 导入 装置 | ||
【主权项】：
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