[实用新型]一种电子束聚焦位偏移测试装置

摘要

本实用新型涉及一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统、聚焦系统、波纹管组件以及扫描系统，所述电子束引出系统通过支撑管与聚焦系统连接，所述聚焦系统通过四通组件与波纹管组件连接，所述扫描系统位于波纹管组件底端；还包括测量装置；所述四通组件的法兰与波纹管组件的法兰之间设置有光缆组件，所述测量装置接地并且与光缆组件电性连接，所述光缆组件包括法兰焊接组件。本实用新型可对电子束束斑位进行在线实时检测，并且可在发生偏移时进行纠正，形成反馈机制，避免电子束偏移打在真空管道上，且可避免造成设备严重损坏以及由于电子束偏移打在真空管道外壁上后产生的X射线。