[实用新型]一种石英罩小孔盖板组件有效
| 申请号： | 202020061593.3 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN211645444U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 陈浩;何文俊;冯永平;孙铁成 | 申请（专利权）人： | 南京国盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型专利提供了一种新型结构的石英罩小孔盖板组件，包括石英罩及小孔盖板，小孔盖板包括板体，该板体具有两面的光滑表面，其中一个表面突出有两个平行设置的长方体定位块，该两个定位块均位于小孔内，且两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位；激光对接部位的厚度为较薄的板体的厚度，而不像现有技术中是较厚的凸台的厚度，故本技术方案可以有效的避免定位激光因为小盖板结构的不合理引起的光线发散，导致激光定位仪不能收到反馈信号影响基座定位的缺陷。种新型小盖板结构在激光对接部位的厚度更薄，减弱了对硅外延反应时气体的吸力，其表面发生淀积的能力极大地降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 小孔 盖板 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京国盛电子有限公司，未经南京国盛电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020061593.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
