[实用新型]一种OLED蒸镀坩埚有效

专利信息
申请号: 202020071532.5 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN211665166U 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 王海燕;孙玉俊 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/04
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 徐剑兵;张忠波
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种OLED蒸镀坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的顶部具有开口,还包括喷嘴,所述喷嘴设置在所述开口上,所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小,所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通,所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道。上述技术方案的喷嘴使坩埚无需使用限制板来调节蒸镀角,从而避免开腔更换并清洗制限板,这样能够使待蒸镀物以较大的程度均匀地镀到基板上。提高了OLED蒸镀坩埚的稼动率,降低OLED蒸镀坩埚的使用成本,提高成膜质量。
搜索关键词: 一种 oled 坩埚
【主权项】:
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