[实用新型]一种硅产品加工装置有效
| 申请号： | 202020087602.6 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN211728889U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 徐宏飞 | 申请（专利权）人： | 宁波云德半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 程晓明 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅产品加工装置，包括石英定盘、导气管和真空发生装置，所述的石英定盘上开设有排气孔，所述的真空发生装置通过所述的导气管与所述的排气孔的一端连接；优点是高效、稳定，有利于提高加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 产品 加工 装置 | ||
【主权项】：
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