[实用新型]一种便于调节的顶针固定结构有效
申请号: | 202020100336.6 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN211182177U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 侯永刚;张军;胡冬冬;李娜;程实然;朱治友;张瑶瑶;许开东 | 申请(专利权)人: | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 马严龙 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种便于调节的顶针固定结构,包括热台、顶针、顶板、波纹管、连接座、气缸、气缸固定架,气缸固定架安装于机台腔体底部侧壁,波纹管通过连接座与气缸动力端连接,顶板位于波纹管上,气缸的动力端具有与连接座连接的活塞板面,四个角均设有螺孔,连接座包括固定筒以及固定板,固定板中心开孔,固定筒贯通固定板的圆孔,固定板的四个角设有与活塞板面螺孔一一对应的长圆孔,固定板四个角的位置分别设有调节孔,内置顶丝,固定筒的外圆一周设有若干紧固孔。本实用新型可调节波纹管和顶板的垂直度以及气缸的垂直度,提高顶针升降的顺畅度,调节过程更加方便和精确,杜绝顶针在使用过程中产生的摩擦,避免顶针被卡断造成故障。 | ||
搜索关键词: | 一种 便于 调节 顶针 固定 结构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造