[实用新型]一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台

摘要

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，包括底座、针座平台、载物台、探针座和显微镜，针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置，显微镜通过龙门架安装于底座上，并置于针座平台的上方，载物台和显微镜均安装在XY轴位平移台上，载物台通过XY轴位平移台可以快速调节被测半导体器件的位置，以及更换被测半导体器件；显微镜通过XY轴位平移台可以快速调节显微镜与被测半导体器件之间的距离，找到合适的焦距，以及更换物镜，大大提升半导体器件的检测效率。