[实用新型]一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体

摘要

本实用新型属于光学镀膜设备技术领域，尤其为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体，所述设备箱体的上端固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架，所述行星双旋转基板保持架的内部固定安装有光学监视器玻璃，所述设备箱体的内壁固定连接有隔板，所述设备箱体的底壁依次从左向右固定安装有离子枪、探测器、电子束蒸镀器和光源灯，所述设备箱体的内壁开设有滑道。本实用新型通过设置电动机和行星双旋转基板保持架，使得设备的蒸镀蒸汽在基材上散布更均匀，再通过设置探测器和石英速率监测仪，使得设备可以进行实时监控，避免产生产品的不合格，还有就是实现了设备的全自动化。