[实用新型]一种用于反应烧结碳化硅制品的真空炉有效

专利信息
申请号: 202020117395.4 申请日: 2020-01-19
公开(公告)号: CN211903701U 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 程革;吴振磊;孔德惠;吴冰;张天龙;于洪斌;刘鹏程;陶崇浩;李天华;赵嘉明;韩凤;何晓棠 申请(专利权)人: 沈阳沈真真空技术有限责任公司
主分类号: F27B5/05 分类号: F27B5/05;F27B5/06;F27B5/14;F27B5/18
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 110108 辽宁省沈阳市苏家屯区清*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型属于真空炉设备技术领域,具体地说是一种用于反应烧结碳化硅制品的真空炉。包括电控系统、炉壳、加热室、真空系统及多组发热组件,其中加热室设置于炉壳内,多组发热组件设置于加热室内,并且与电控系统连接,真空系统与炉壳连接,用于对炉壳内进行抽真空,电控系统用于控制真空系统及多组发热组件。本实用新型整个工作过程安全性好,操作简单,产品质量好,成品率高,设备整体寿命长,易维修,生产温度阈值上限高。
搜索关键词: 一种 用于 反应 烧结 碳化硅 制品 真空炉
【主权项】:
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