[实用新型]一种新型真空反应室有效
| 申请号： | 202020139785.1 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN211800678U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;李帅;朱玉盼 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/03 | 分类号： | B01J3/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提一种新型真空反应室，包括反应室封头以及反应室管道,反应室封头焊接固定在反应室管道顶部，反应室管道下端焊接有反应室水套法兰，反应室水套法兰内部通循环冷却水，反应室水套法兰上焊接有水隔板，反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块，八个加强支撑块内侧焊接加强套管，加强套管内壁包裹着反应室管道，反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴，进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：实现了给真空反应室增加了承受力能力，在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形，大大增加了真空反应室的寿命，节约了成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 反应 | ||
【主权项】：
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