[实用新型]镀膜装置

摘要

本实用新型涉及一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在太阳能电池片的基体片上镀减反膜，镀膜装置包括炉体、前法兰壁、后法兰壁和供气装置，其中，镀膜装置上设置有连通外界和容纳腔的至少两组进气孔，供气装置能够同时通过各组进气孔向容纳腔内供气，其中第一组进气孔设置在后法兰壁上，其他进气孔设置在炉体上或前法兰壁上。根据本实用新型，镀膜装置在炉体的不同位置处设置有进气孔，在制造减反膜的工艺中，供气装置能够经由各个进气孔同时向炉体内供气，以使得炉体内的各处气体均匀地发生反应，从而在位于炉体内的不同位置处的硅片上形成厚度均匀的减反膜。