[实用新型]光罩及曝光装置

摘要

本实用新型涉及一种光罩及曝光装置，该光罩包括：基板，可以使光线穿过；光罩图案，设置在基板上，光罩图案包括图案部、边缘部以及引线；所述图案部和所述边缘部均不透光且均可以导电，所述图案部用于向被曝光物转印图案，所述边缘部与所述图案部间隔设置，所述边缘部具有接线端以便与外电路电连接；所述引线用于将所述图案部和所述边缘部电性连接在一起，且光线可以从所述引线与所述基板相接的一侧传播至所述引线远离所述基板的一侧。本实用新型提供的光罩中，光罩图案的图案部和边缘部均可以导电，且二者电性连接，使用时将边缘部的接线端接地，便可以将光罩上产生的电荷便可以从接线端导入大地，从而可以避免光罩上的图案被静电击伤。