[实用新型]一种薄膜铂电阻温度传感器

摘要

本实用新型公开了一种薄膜铂电阻温度传感器，包括包括蓝宝石晶片、表面铂薄膜层、氧化铝膜层、隔离层、电阻引线；在蓝宝石晶片的正面镀制表面铂薄膜层，并将表面铂薄膜层制成铂电阻版图的立体结构，在表面铂薄膜层上设置焊接点并在焊接点上焊接电阻引线；在表面铂薄膜层的上方覆盖氧化铝膜层；在氧化铝膜层以及焊接点的上方设置隔离层；本实用新型的技术效果在于，薄膜铂电阻温度传感器与传统的陶瓷铂电阻元件和厚膜铂电阻元件相比，可以降低生产成本，提高生产效率，减小了产品外形尺寸，测量时的响应时间短，产品的一致性有充分的保障。与同类薄膜电阻元件相比，可以大幅度提高测温范围，阻值精度高，具有更好的长期稳定性等优点。