[实用新型]一种自动寻参读码设备有效
申请号: | 202020177844.4 | 申请日: | 2020-02-17 |
公开(公告)号: | CN211920126U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 李伦;张淳;孙晨光;王聚安;王彦君 | 申请(专利权)人: | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91;B65G47/74;G06K17/00;G06K7/10 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种自动寻参读码设备,包括晶圆装卸装置,用于放置晶圆传递盒和晶圆盒;机器人装置,用于晶圆的抓取和传递;寻参读码装置,用于读取晶圆的相关信息及寻参考边;晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通,将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出,并放置于寻参读码装置上,经寻参读码后,将晶圆放置于晶圆盒上,进行倒篮搬运。本实用新型的有益效果是能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮,有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险,提高读码效率,减少劳动强度,降低人工成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 寻参读码 设备 | ||
【主权项】:
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