[实用新型]一种新型晶圆探针台有效
| 申请号： | 202020178088.7 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN211741377U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 梁建;罗雄科 | 申请（专利权）人： | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 董磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及探针台技术领域，公开了一种新型晶圆探针台，包括：PCB夹具，用于可替换安装不同尺寸的PCB，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调；探针夹具，用于安装探针；第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；相机夹具，用于安装相机；第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB，节约企业成本，产品多样化、成本低，满足不同客户需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 探针 | ||
【主权项】：
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