[实用新型]电极探针连接装置和系统有效
| 申请号： | 202020178179.0 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN211826169U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 巫海苍;周颖聪;宋一品;梁寒潇 | 申请（专利权）人： | 苏州极刻光核科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京卓唐知识产权代理有限公司 11541 | 代理人： | 卜荣丽 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电极探针连接装置和系统。该电极探针连接装置包括：探针机构和用于放置待测芯片的载物台；所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针，所述多自由度驱动座设置在所述载物台的一侧；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述探针机构接触或远离所述待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地将电极探针稳定连接在芯片上的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 探针 连接 装置 系统 | ||
【主权项】：
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