[实用新型]一种纳米弧源推进装置有效
| 申请号： | 202020182350.5 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN211814631U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张建坡 | 申请（专利权）人： | 超微中程纳米科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米弧源推进装置，包括安装基体，所述安装基体内设置有磁场源、阴极体和推进装置，所述阴极体包括带有作为阴极的靶材和用于固定靶材的靶材安装座，所述靶材安装座的两侧设置有滑轨，所述安装基体的内壁上设置有供所述滑轨滑动的凹槽，所述推进装置设置所述阴极体的一侧，所述推进装置推动所述阴极体在安装基体的凹槽内滑动。本实用新型的纳米弧源推进装置，通过设置推进装置带动靶材移动，改变靶材端面在磁场源内的相对位置，保证在电镀的过程中，靶材消耗后，靶材端面相对于磁场源的位置不发生改变，保证电镀效果的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 推进 装置 | ||
【主权项】：
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