[实用新型]卡规有效

专利信息
申请号: 202020188646.8 申请日: 2020-02-20
公开(公告)号: CN212030410U 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 唐升 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G01B5/14 分类号: G01B5/14
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 201315*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供了一种卡规,用于在扩散炉管中固定长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距,卡规包括相连接的卡规本体和把手,把手的长度可使卡规本体伸入到石英管内壁的变径处,卡规本体可贴合石英管内壁进行弯曲,卡规本体的厚度与安装间距相适应。使用卡规时,将卡规伸入到石英管内壁的变径处并使卡规本体的一面紧贴石英管内壁,再伸入长注射器并使注射器紧贴卡规本体的另一面,安装固定注射器后,移走卡规,此时注射器与石英管内壁的变径处的安装间距即为卡规本体的厚度。本实用新型的应用使得注射器的安装位置标准化,防止长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距过大或者过小,从而降低制品报废的风险,提高制品良率,保证制品器件性能。
搜索关键词: 卡规
【主权项】:
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