[实用新型]半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管有效
| 申请号： | 202020197748.6 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN211509325U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 张九朋;肖雅婷 | 申请（专利权）人： | 辽宁希泰科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B6/10 | 分类号： | H05B6/10 |
| 代理公司： | 沈阳易通专利事务所 21116 | 代理人： | 王建男 |
| 地址： | 115000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制作设备领域，半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其中第一连接端盘和第二连接端盘轴心处均具有安装孔，第一连接端盘通过安装孔套装在导向管外环面，且第一连接端盘与导向管间隙配合，第二连接端盘通过安装孔固定的安装在导向管第一端部，且导向管轴心与第二连接端盘主延展面相互垂直，波纹管段位于套装在导向管外部且位于第一连接端盘和第二连接端盘之间，波纹管两端分别固定连接第一连接端盘和第二连接端盘的端面，且在自由状态下导向管和波纹管段同轴心设置。本波纹管具有高温环境下使用寿命长、耐腐蚀、动作导向性好的特点，方便波纹管安装对接。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制作 设备 电磁 加热 专用 焊接 波纹管 | ||
【主权项】：
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