[实用新型]一种外延生长设备的反应室结构

摘要

本实用新型公开了一种外延生长设备的反应室结构，包括：石英管、感应加热装置、反应腔室组件、分气组件、抽气组件，所述石英管为两端设有开口的圆形筒体结构，所述石英管的上部中间位置垂直设有第一圆筒，所述感应加热装置活动设置在所述石英管的外部，两个所述反应腔室组件活动设置所述石英管的内部，所述分气组件活动设置在所述石英管内并与所述第一圆筒活动连接，两个所述抽气组件分别设置在所述石英管的两端。本实用新型通过增加分机组件，改进了反应腔体结构，完成了两台设备的产能，极大的降低了成本，节省了大部分洁净室空间，控制保护气体与反应气体的流量，减少反应气体从反应室内流出的速率，提高了气体利用率。