[实用新型]多功能纳米真空蒸发源有效
| 申请号： | 202020211269.5 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211689207U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 许云峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能纳米真空蒸发源，其包括坩埚、加热单元和冷却套。加热单元包括套设于坩埚外侧面的加热套体、电加热管、限位块和限位弹簧。本实用新型的坩埚采用热解氮化硼材质制备。在加热套体内壁的外表面设置有多个向加热套体的中轴线凹陷的容纳槽，在每个容纳槽中分别设置有一个电加热管。冷却套体设置在加热套体的外部，在冷却套体的上端设置有冷媒入口，在冷却套体的下端设置有冷媒出口。本实用新型多功能纳米真空蒸发源能够同时满足对金属材料和有机材料的蒸镀需求，其具有更高的加热效率，并能在需要的时候对蒸发源进行降温，确保其正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 纳米 真空 蒸发 | ||
【主权项】：
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