[实用新型]一种真空二维位移平台

摘要

本实用新型公开了一种真空二维位移平台，包括下法兰、Y向活动块和Y方向调节丝杆，所述下法兰的内表面焊接有波纹管，且波纹管的另一端焊接有X方向活动块，所述下法兰的上端面安装有Y向固定法兰，且Y向固定法兰的上端面固定有连接块，所述Y方向调节丝杆安装于Y方向轴承的内侧，所述Y向固定块的侧表面固定有Y方向轴承座，所述Y向固定块的右上方安装有X方向轴承座，且X方向轴承座的内侧贴合有X方向螺母，所述X方向螺母的内部套接有X方向调节丝杆。该真空二维位移平台的主要特点是将真空腔室外部的X、Y方向位移运动传递到真空腔室内部，使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件。