[实用新型]一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置有效
| 申请号： | 202020221212.3 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211806140U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;庄海云;蔡嘉雄;陈佳炜;王雪松 | 申请（专利权）人： | 至微半导体（上海）有限公司;江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J9/12;B25J9/10;B25J19/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板、用于连接机械手臂的连接件、用于驱动所述连接件沿着水平方向移动的水平驱动模块、用于驱动所述连接件沿着竖直方向移动的竖直驱动模块，本实用新型的有益效果是：滑动板通过第一滑轨和第二滑轨与固定板滑动连接，直线推杆的外套通过第三滑轨和第四滑轨与滑动板滑动连接，减少装置在工作过程中发生的位置偏移，提高装置的工作精度；通孔包括螺纹部和半径较大的圆柱部，增加螺栓的接触面积，通孔的两侧设置第一螺孔和第二螺孔以分散通孔受到的应力，提高通孔的强度，避免装置工作过程中固定板相对外部支架发生旋动；设置光电检测器，便于用户实时监控机械手臂的工作位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 移动 稳定性 机械 手臂 驱动 装置 | ||
【主权项】：
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