[实用新型]运输设备有效
| 申请号： | 202020232596.9 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN212062456U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 孟文钱 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种运输设备。运输设备用于将晶圆输送至预设位置处，运输设备包括：承载结构，用于承载晶圆；电磁组件，位于至少部分承载结构的外围，电磁组件用于通电后向承载结构施加电磁力，以使承载结构处于悬浮状态；驱动组件，与承载结构连接；驱动组件用于在承载结构处于悬浮状态时驱动承载结构运动至预设位置处。本实用新型有效地解决了现有技术中下平台的运行不稳定而影响上、下晶圆的对准精度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 运输设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
