[实用新型]一种多功能纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020233623.4 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689213U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多功能纳米真空镀膜仪，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有样品台、蒸镀源，所述样品台位于真空腔体内的上方、所述蒸镀源位于真空腔体内的下方，所述样品台由翻转机构驱动其能翻转180°，所述蒸镀源内填充有镀膜材料，所述蒸镀源的顶部设置有开孔，所述开孔上端的孔径小于下端的孔径，所述挡板设置在样品台与蒸镀源之间，所述挡板的一侧设置有平移机构，所述平移机构能驱动挡板远离样品台、蒸镀源之间。本实用新型能对基片的两面进行镀膜、增加原材料有效利用率、并能隔离蒸镀源与样品台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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