[实用新型]一种纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020233758.0 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689214U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米真空镀膜仪，包括镀膜筒体、蒸发箱和抽气装置，镀膜筒体内设置有真空镀膜室，真空镀膜室通过第一管道与蒸发箱连通，蒸发箱通过第二管道与抽气装置连通，真空镀膜室内设置有旋转机构，旋转机构包括电机和旋转柱，电机设置在镀膜筒体上且电机的输出轴与旋转柱的一端连接，旋转柱的另一端穿过真空镀膜室一侧且旋转柱上设置有旋转台，旋转台位于真空镀膜室内，旋转台上设置有固定柱，本实用新型的目的在于提供易于在工件上均匀成膜的一种纳米真空镀膜仪。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州泓沵达仪器科技有限公司，未经苏州泓沵达仪器科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020233758.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于真空镀膜的样品高温加热装置
- 下一篇：一种装袋手拉车
- 同类专利
- 专利分类
