[实用新型]硅片花篮

摘要

本实用新型提供了一种硅片花篮，包括两个端板和固定在两个端板之间的若干齿杆，所述齿杆上具有至少一列尖齿排，该列尖齿排具有若干尖齿本体，其中硅片适于卡设在两个所述尖齿本体之间且该硅片的端面与其接触的所述尖齿本体之间有且仅有一个接触点。此种硅片花篮，通过端板配合齿杆，实现对于硅片的架设，而通过两列尖齿排，实现硅片的定位固定，并通过两个尖齿本体实现相隔定位，此时尖齿本体与硅片之间有且仅有一个接触点，从而很好的保护硅片的表面，使其可变形的区间在一个点而不是一条线或者一个面。