[实用新型]一种旋转靶绑定的旋转定位装置有效
| 申请号： | 202020240937.7 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN211445883U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张益 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转靶绑定的旋转定位装置，包括用于固定旋转靶的底座，底座设置有驱动部和夹持部，夹持部旋转安装于驱动部，底座的一侧设置有定位柱，定位柱套设有滑动定位部，滑动定位部滑动安装于定位柱，滑动定位部设置有上定位部，上定位部与定位柱之间设置有设定距离，在对旋转靶进行定位时，夹持部固定旋转靶的一端，上定位部抵压旋转靶的另一端。本实用新型的旋转定位装置，适用性强，功能性强，提高旋转靶的绑定质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 绑定 定位 装置 | ||
【主权项】：
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