[实用新型]一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具有效
| 申请号： | 202020245494.0 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN211999898U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 鲍刚华;卢成;陆斌;王伟;王健平 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/30 |
| 代理公司： | 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 | 代理人： | 贾波 |
| 地址： | 611130 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具，所述非球面夹具的内腔结构包括平面状的顶面及顶面边缘向外呈弧状延伸形成的坡面，且顶面与坡面平滑过渡呈一体成型结构，应用于镀膜机上，在进行镀膜时不依靠专门的膜厚修正系统，仅通过将现有的旋转球面夹具改成本旋转非球面夹具，即可使镀膜机的膜厚分布均匀性满足实际生产需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 旋转 球面 夹具 | ||
【主权项】：
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