[实用新型]存储器制作装置

摘要

本公开实施例公开了一种存储器制作装置，包括：容腔；托盘，位于所述容腔内；一个或多个第一类喷嘴，位于所述容腔内；一个或多个第二类喷嘴，位于所述容腔内；其中，所述第一类喷嘴的喷气口与所述托盘的中心之间的第一距离为第一距离，所述第二类喷嘴的喷气口与所述托盘的中心之间的距离为第二距离；所述第二距离为一数值，所述第二距离小于所述第一距离；或者，所述第二类喷嘴为活动喷嘴，使得所述第二距离为若干个数值构成的组合或为数值范围，所述第二距离中的最小值小于所述第一距离；所述第一类喷嘴和所述第二类喷嘴，用于喷出第一气体。