[实用新型]掩膜版检测夹具有效
| 申请号： | 202020254564.9 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN212111188U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 刘军;张彦鹏;刘建明 | 申请（专利权）人： | 江苏维普光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01;G01B11/06 |
| 代理公司： | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人： | 王玲玲 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜版检测夹具，它包括底座、限位座组和滑动驱动机构，所述限位座包括固定在底座上的固定限位座和滑配在底座上、并位于所述固定限位座对面的滑动限位座；所述滑动驱动机构与所述滑动限位座相连以驱动滑动限位座朝向固定限位座移动以夹紧掩膜版。本实用新型可以适用多种规格的掩膜版，进而节省材料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 检测 夹具 | ||
【主权项】：
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