[实用新型]一种显微镜点扩散函数的测量设备有效
申请号: | 202020256880.X | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN211927237U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 毛帅;王军涛 | 申请(专利权)人: | 山东理工大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 安卫静 |
地址: | 255000 山东省淄博*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种显微镜点扩散函数的测量设备,涉及电子设备的技术领域,包括:激光发射装置,点扩散函数校准装置,位移台和终端设备;激光发射装置,用于以不同空间姿态向点扩散函数校准装置初始线偏振光束,以及检测目标线偏振光束的纵向高度值;点扩散函数校准装置,用于检测初始线偏振光束的方向向量,以及初始线偏振光束形成的光斑的位置坐标;位移台,用于调整点扩散函数校准装置的空间姿态;终端设备,用于根据纵向高度值、方向向量和光斑的位置坐标,确定出垂直于显微镜光轴各个纵向物面上的点扩散函数,解决了现有显微镜点扩散函数测量技术中无法准确确定出垂直于显微镜光轴纵向物面的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 显微镜 扩散 函数 测量 设备 | ||
【主权项】:
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