[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202020264583.X | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN211240079U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 胡恒宾;曾鹏 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 鲍竹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括基底、盖设在基底的一侧并与基底形成保护空间的内层金属壳、固定于基底的MEMS芯片和ASIC芯片、盖设于基底的外层金属壳，内层金属壳与外层金属壳之间形成壳间隙，基底开设拾音孔，内层金属壳包括与基底正对的第一顶板及自第一顶板的周缘弯曲延伸至基底的第一周壁，基底的与内层金属壳相连侧凹陷形成第一通气槽，第一周壁部分盖设于所述第一通气槽，第一通气槽连通保护空间和壳间隙。在回流焊的过程中，壳间隙内的空气受热膨胀后通过第一通气槽流入到保护空间内并从拾音孔流出，避免了壳间隙内的空气受热膨胀而挤压外层金属壳，从而防止外层金属壳与基底脱落，提高了MEMS麦克风的生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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