[实用新型]管用进气排气装置有效
| 申请号： | 202020272449.4 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN211947290U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张松;朱俊;陆红艳;程晓伟;朱凡;李志刚 | 申请（专利权）人： | 帝尔激光科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种管用进气排气装置，包括进气管和排气管，所述进气管和排气管分布在炉管内并紧靠炉内壁，所述进气管和排气管以布置在炉管内部的硅片为中心对称分布；所述进气管和排气管均为结构相同的多层套管结构，所述多层套管结构由至少两根气管由内向外同轴心套接构成；在每层气管上开设若干气孔。本实用新型进气管和排气管采用多层套管结构，多层套管结构的内部空间使扩散源气体和反应残留废气可在多层套管结构中充分混合均匀后进入或排出炉管。另一方面各层气管中气孔的位置、角度、孔径、孔距、孔向均调整，从而实现进入炉管的气流方向稳定性和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 管用 排气装置 | ||
【主权项】：
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