[实用新型]一种用于旋转靶绑定的加热装置有效
| 申请号： | 202020277786.2 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN211406299U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈明恒 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B6/02;H05B6/06 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于旋转靶绑定的加热装置，加热装置包括设置在旋转靶绑定工装装置旁侧的升降支柱、加热模块和升降驱动装置，加热模块，用作对旋转靶材进行局部加热，加热模块滑动安装于升降支柱靠近旋转靶绑定工装装置的一侧，加热模块位于旋转靶绑定工装装置的上方；升降驱动装置，用作驱动加热模块沿旋转靶轴线方向作升降运动，升降驱动装置连接加热模块。与现有技术相比，该加热装置能够对旋转靶进行分节加热，免除整管加热，降低操作难度，减少能耗折损，提高绑定质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋转 绑定 加热 装置 | ||
【主权项】：
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