[实用新型]一种半自动旋转靶氧化皮去除装置有效
申请号: | 202020277832.9 | 申请日: | 2020-03-09 |
公开(公告)号: | CN211839177U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 陈明恒 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B08B1/02 | 分类号: | B08B1/02;B08B1/00;C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,包括机架、第一支承辊、第二支承辊、转动驱动装置和转动控制单元,第一支承辊和第二支承辊分别转动安装于机架的顶部,第一支承辊和第二支承辊相平行,第一支承辊和第二支承辊之间间隔形成用作放置旋转靶的支撑部;转动驱动装置驱动连接第一支承辊或第二支承辊,转动控制单元与转动驱动装置电连接。与现有技术相比,本半自动氧化皮去除装置是手工去皮设备,能够对高温旋转靶进行设定角行程的自动转动,以配合手工去皮,免除人工转动,缩短去皮周期,避免旋转靶在去皮周期内降至去皮工作的温度下限,提高旋转靶氧化皮的去除率以及旋转靶绑定的良品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半自动 旋转 氧化 去除 装置 | ||
【主权项】:
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