[实用新型]一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置有效
| 申请号： | 202020282228.5 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN211977845U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王忠 | 申请（专利权）人： | 上海灏谷集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座，所述底座的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘，左右两个所述晶圆卡盘的下端设有用于推动晶圆卡盘移动的转动机构，所述底座的中部固定连接有用于支撑的转轴，所述转轴与四个晶圆卡盘之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。本实用新型结构合理，可以将晶圆牢固地固定于卡盘的上方，避免对后续晶圆偏转角度的测量产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 机器 视觉 偏转 角度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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