[实用新型]晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置有效
| 申请号： | 202020308294.5 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN211828693U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 田英干 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶装电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/08 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 程开生 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，属于固定定位技术领域，包括底座，所述底座的顶端开设有滑槽B，所述滑槽B的表面滑动连接有连接柱，所述连接柱的底端滚动连接有滚轮，所述滚轮的下方固定安装有底板B，所述连接柱的一端插接在底板A的底端，所述底板A的上方开设有滑轨，所述滑轨的表面滑动连接有挡板A，所述挡板A的一端过盈连接有连杆，所述连杆滑动连接在滑槽A的内部，所述滑槽A开设在挡板B的内部。本实用新型通过安装的滑轨和连杆，能够使得挡板A和挡板B之间的距离可调，从而能够使得底板能够固定承接不同规格和大小的电机，使得电机的安装放置更加方便，从而提高使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 冲洗 烘干 过程 电机 高精度 定位 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
