[实用新型]一种用于探针平台的聚焦装置有效
申请号: | 202020317531.4 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN211718610U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 郭俊春 | 申请(专利权)人: | 重庆盛科纳科技有限公司 |
主分类号: | G02B21/24 | 分类号: | G02B21/24;G02B21/26 |
代理公司: | 重庆千石专利代理事务所(普通合伙) 50259 | 代理人: | 黄莉 |
地址: | 400000 重庆市九*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于探针平台的聚焦装置,包括平台底座、安装有目镜的显微镜、探针臂和探针,所述探针臂底部活动连接在所述平台底座上,所述探针固定在所述探针臂顶端,且所述探针位于所述平台底座上方;所述显微镜位于所述探针的上方;所述显微镜上设有自动聚焦装置;所述平台底座上设有自动载物平台,且该自动载物平台位于所述探针下方;所述自动聚焦装置包括红外线传感器和调焦装置,所述调焦装置位于所述显微镜的目镜的下方;所述平台底座上开设有滑动槽,所述自动载物平台滑动设置在所述滑动槽内。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 探针 平台 聚焦 装置 | ||
【主权项】:
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