[实用新型]一种超高真空腔体快速液氮冷却组件有效
| 申请号： | 202020324482.7 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN211738651U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘娜;鲍美玲;陈加通;刘鑫;杜劲松 | 申请（专利权）人： | 安徽卓凌机电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F16L23/024;F16L59/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超高真空腔体快速液氮冷却组件，包括有液氮输送管，液氮输送管外套装有抽真空管，抽真空管的下端部外侧套装有液氮保护管一，液氮保护管一的上端部安装有用于连接到腔体或超过真空装置上的连接法兰，液氮保护管一通过连接法兰连接后位于腔体或超过真空装置外的液氮保护管二上设有抽真空支路，抽真空支路的进气端口与抽真空管连接，抽真空支路上安装有抽真空阀，抽真空管上方的液氮输送管位于液氮保护管三内，且液氮输送管的端部伸出液氮保护管三且设有进液氮接头。本实用新型实现了对内置液氮输送管保护的作用，而且通过液氮保护管一的结构，可有效缩短抽真空的空间和效率，从而保证冷却效果，避免出现漏气现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 空腔 快速 液氮 冷却 组件 | ||
【主权项】：
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