[实用新型]一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线有效
| 申请号： | 202020334403.0 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN212152429U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 阿力甫·库提鲁克;李浩;洪巍;梅新灵 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，包括金属管端子(1)、多根柔性导线(2)和扭簧端子(3)；所述金属管端子(1)压接所述多根柔性导线(2)的一端；所述扭簧端子(3)压接所述多根柔性导线(2)的另一端。本实用新型的有益效果是：在成本低廉的前提下便可避免磁偏转电子束蒸发源运作时的电子枪及其关键部件位移，避免高压电弧放电，进而提高产品可靠性，提高设备的寿命，降低使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗热 膨胀 偏转 电子束 蒸发 源用软 连接 导线 | ||
【主权项】：
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